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近日,捷讯科技成功中标华东地区某12英寸集成电路晶圆制造项目的洁净室系统工程总承包。该项目洁净面积逾4万平方米,涵盖光刻、刻蚀、薄膜、扩散等多个核心工艺区域,洁净度等级覆盖ISO 4级至ISO 6级。
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捷讯科技中标华东某12英寸晶圆厂洁净室总承包项目
发布时间:2026-07-28 00:00
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近日,捷讯科技成功中标华东地区某12英寸集成电路晶圆制造项目的洁净室系统工程总承包。该项目洁净面积逾4万平方米,涵盖光刻、刻蚀、薄膜、扩散等多个核心工艺区域,洁净度等级覆盖ISO 4级至ISO 6级。

项目团队将采用模块化洁净室结构与FFU满布方案,结合数字孪生进行气流组织仿真,确保关键区域截面风速均匀性与温湿度控制精度满足工艺要求。

这是捷讯科技今年以来在电子半导体领域落地的又一标志性项目,进一步巩固了公司在高等级洁净室总承包市场的服务能力。